"pecvd" 검색결과 1-20 / 398건

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  CVD - PECVD

  목차 CVD - PECVDCVD 종류 CVD 열에너지 (AP,LPCVD) 플라즈마 에너지 (HDP,PECVD) 원자층 (ALCVD)CVD 란 ? ( 화학적 기상 증착법 ... 의 균일성 등을 LPCVD 와 비슷하게 형성할 수 있도록 플라즈마 CVD(PECVD) 개발 PECVD 는 열에너지를 적게 사용하는 대신 플라즈마 에너지를 보충하여 증착시키는 방식 ... PECVD+ 플라즈마 (Plasma) 진공 챔버에 비활성 기체 를 주입한 후 , 전기 에너지를 공급하여 전기 에너지 에 의한 자기장이 자유 전자를 가속 이러한 높은 에너지를 가진 자유

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.07.09 | 수정일 2020.07.11

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  고분자 기판과 PECVD 절연막에 따른 ITZO 박막 트랜지스터의 특성 분석

  한국재료학회 양대규, 김형도, 김종헌, 김현석

  논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2023.04.05 | 수정일 2023.04.06

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  PECVD 원리 및 응용 보고서

  리포트 | 21페이지 | 3,000원 | 등록일 2022.03.04 | 수정일 2022.03.11

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  Evaluation of the sp3/ sp2 ratio of DLC films by RF‑PECVD and its quantitative relationship with optical band gap

  한국탄소학회 Hongxun Sheng, Wenwen Xiong, Songsheng Zheng, Chao Chen, Song He, Qijin Cheng

  논문 | 11페이지 | 4,200원 | 등록일 2023.05.08

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  PECVD 공정

  - review - type feature PECVD - mean feature - applicationPlasma Present to develop DC discharge to ... ( Plasma Ehanced Chemical Vapor Deposition) Mean : Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD ... in the top electrodeWHY PECVD ? Encourage deposition at much lower temperatures and pressures than

  리포트 | 24페이지 | 3,000원 | 등록일 2018.06.15

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  PECVD에 대한 보고서

  플라즈마와 스퍼터이론 실험보고서- PECVD란?PECVD란, Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition의 약자로써, 플라즈마를 이용한 화학기상증착 ... 를 해결해주는 것이 PECVD로 Plasma를 매개체로 화학반응을 통해서 표면에 박막을 증착시키는 방법이다. 이는 다른 CVD와는 다르게 400도 정도의 낮은 온도로도 증착이 가능 ... 활성기체와 함께 챔버안에 넣는다. 이 때, 플라즈마를 사용하므로 진공상태를 만들어야 하며, 주로 PECVD에서는 저진공을 사용한다. 그런 후, RF 전압을 걸어주게 된다. DC를 걸

  리포트 | 1페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.11.14

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  PECVD에 의한 Sirich 산화막의 특성

  한국재료학회 강선화, 이상규, 박홍락, 고철기, 최수한

  논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  재료공학실험1 - PECVD

  재료공학실험1 - PECVD1. PECVD 공정플라즈마 화학 기상 증착법의 줄임말으로 플라즈마를 이용하여 원하는 물질을 기판에 증착시키는 공정을 의미하며, TFT의 절연막과 보호 ... 는데, Sheath 영역에서 이온이 가속화 되며, 이 성질을 이용해 CVD증착을 한다.2. PECVD의 원리(1) 전기적으로 중성인 분자 상태의 기체에 강한 전압을 걸어주어 플라즈마상태

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.09.20

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  rf PECVD법으로 증착된 DLC film의 광학적 성질

  한국재료학회 김문협, 송재진, 김성진

  논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  PECVD에 의한 YSZ(Yttria Stabilized Zirconia)박막 제조

  한국재료학회 김기동, 신동근, 조영아, 전진석, 최동수, 박종진

  논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  PECVD를 이용한 금속 스탬프용 점착방지막 형성과 특성 평가

  한국재료학회 차남구, 박창화, 조민수, 김규채, 박진구, 정준호, 이응숙

  논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  RF-PECVD 법으로 제조된 비정질 BON박막의 산화

  한국재료학회 김재운, 부진효, 이동복

  논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  Pulsed ECR PECVD를 이용한 SiOx 박막의 성장 및 특성분석

  한국재료학회 이주현, 정일채, 채상훈, 서영준, 이영백

  논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  FTES/O2-PECVD 방법에 의한 SiOF 박막형성

  한국재료학회 김덕수, 이지혁, 이광만, 강동식, 최치규

  논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  RF PECVD로 증착된 다이아몬드상 탄소막의 잔류응력에 관한 연구

  한국재료학회 최운, 남승의, 김형준

  논문 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  RF PECVD로 증착된 다이아몬드상 탄소막의 보조가스 첨가의 영향

  한국재료학회 최운, 김형준, 남승의

  논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  PECVD법으로 제조된 DLC박막의 기판에 따른 접착력에 관한 연구

  한국재료학회 최원규, 최운, 김형준, 남승의

  논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  저주파수(450 KHz) PECVD에 의한 Diamondlike Carbon박막의 특성

  한국재료학회 김한주, 주승기

  논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  PECVD방법으로 형성한 W67N33/GaAs구조의 열적 특성

  한국재료학회 이세정, 홍종성, 이창우, 이종무, 김용태, 민석기

  논문 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  PECVD로 제조된 비정질 질화탄소 박막의 특성에 미치는 증착변수의 영향

  한국재료학회 문형모, 김상섭

  논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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