"스퍼터링" 검색결과 1-20 / 776건

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  스퍼터링(Sputtering) 이론레포트

  , 2004.박지봉, “고품질 산화물 및 질화물 박막의 제조를 위한 마그네트론 스퍼터링법의 활용과 연구.” 석사학위, 부산대학교 대학원, 2011.성진욱, “이온빔 스퍼터링

  리포트 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2023.05.21

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  진공공학 스퍼터링 과제

  SputteringSputtering(스퍼터링)이란 반도체 제조 공정에서 박막을 형성하기 위해 사용되는 플라즈마를 이용하는 박막 형성 공정이다.플라즈마란 고체, 액체, 기체외 ... , 전자, 중성분자들이 섞여 있어 준 중성을 띄게 된다. 스퍼터링 시에는 일반적으로 반응시키는 기체로 Ar(아르곤)을 이용한다.스퍼터링의 기본적인 원리는 위의 플라즈마를 이용하는데 ... 물질의 결합에너지보다 큰 충분한 에너지를 가지고 있었다면 음극을 구성하고 있는 물질이 표면으로부터 떨어져 나오게 된다. 이러한 현상을 스퍼터링이라고 하며 떨어져 나온 음극 물질

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2022.06.03

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  스퍼터링, RIE 실습 레포트

  플라즈마 공학스퍼터링 & RIE 실습 레포트Ⅰ. 실험목표Ⅱ. 이론적 배경Ⅲ. 실험장비 원리 및 방법Ⅳ. 실험결과Ⅴ. 결론 및 고찰Ⅰ. 실험목표ⅰ) DC플라즈마를 이용한 유리기판 ... 위 금속 박막 증착 및 광학적 투과율 측정DC 플라즈마를 이용한 스퍼터링 증착 방법으로 유리기판 위 금속 박막 증착 시 일정 파워와 일정 압력에서 증착시간, 전체 유량, O2 ... 가 전기적 반응에 의해 가속되어 충돌현상을 갖는데, 증착 및 식각 등의 플라즈마 공정은 이러한 충돌현상으로 발생하는 물리적, 라디칼을 이용한 화학적 반응을 이용한다.ⅰ) 스퍼터링

  리포트 | 7페이지 | 3,000원 | 등록일 2020.06.28

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  On-axis 스퍼터링과 FTS 공정으로 증착한 ZTO 박막트랜지스터의 특성

  한국재료학회 이세희, 윤순길

  논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2023.04.05

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  전기도금,스퍼터링,용사공정

  크롬도금: 크롬 도금은 장식 목적으로 니켈 도금위에 10마이크로미터 정도 하며 거울과 같은 표면을 가진다. 장식용 도금은 강한 부식성을 가지므로 차량 또는 주방 용품에 사용된다. 대기중에서 변색이 안되고 내구성과 내마모성이 좋다. 왼쪽그림은 차량에 크롬도금을 한 것이다..

  리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.07.22

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  라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 성장한 녹색 발광 CaNb2O6:Tb3+ 박막의 특성

  한국재료학회 김선경, 조신호

  논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2023.12.18

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  [박막공학실험]이온스퍼터링과 탄소코팅

  이온스퍼터링과 탄소코팅1. 실험 목적가. 실리퍼 웨이퍼 기판 위에 진공증착법을 이용한 탄소코팅과 이온 스퍼트링법을 이용한 금코팅을 성막함에 있어 진공증착과 이온스퍼터링의 원리 ... . 그러나 바닥에 위치하게 되면 증발입자는 직진하므로 더 가까운 곳에 더 많은 수의 증착이 이루어지므로 불균일한 증착 두께가 나올 수 있다.다. 이온스퍼터링고에너지입자를 이온화된 아르곤 ... 이 스퍼터링이다. 그림 3에서 보이는 것과 같이 이온이 매우 높은 에너지를 가지고 음극 물질에 출돌하게 되면 충돌 주변의 원자들에게 에너지가 전달되고, 이 때 전달되는 에너지가 원자

  리포트 | 9페이지 | 3,500원 | 등록일 2023.03.07

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  스퍼터링, 알파스텝과 시편 관련 조사 보고서

  스퍼터링보고서목 차1. 실험 주제22. 실험 목적23. 관련 이론 및 실험 방법21) sputtering22) Alphastep33) scratch tester34. 기판 특성 ... 의 원리에 대해 알아보고 직접 실험해 본다.2. 실험 목적ion coater를 사용하여 기판(OHP, Al, Si wafer, Glass)에 백금을 스퍼터링하고, 알파스텝을 통해 단차

  리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.11.24 | 수정일 2021.05.26

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  PVD방법(열 증발법, 전자빔 증발법, 스퍼터링 법)

  )PVD PVD 열 증발법 전자빔 증발법 스퍼터링 법열 증발법 진공 Chamber 속 고상 및 액상의 증발 사료 ( 재료 ) 를 기상으로 증발 , 증발된 사료는 기판으로 이동하여 응축 ... 을 거친 뒤 , 증착 (Thermal/ E-beam evaporator) 과정스퍼터링 법 높은 에너지를 가진 입자들이 Target( 증착재료 ) 에 충돌 , Target 원자

  리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.07.09

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  스퍼터링

  스퍼터링 (sputtering)-결과 보고서-목차1.실험목적2.기초이론 및 원리3.준비 기구 및 장치4.실험과정5.실험결과6.토의 및 고찰7.인용 및 참고문헌1. 실험 목적 ... 스퍼터링은 박막 태양전지 외에도 반도체, LCD, 유기EL등의 평판 디스플레이, CD, HD, MD 등의 각종 기록매체, 휴대폰, 정밀, optic lens, 장식 내마모 내식성 기능막 ... 에 어떠한 상하관계가 있는지 공정변수와 관련지어 알아보도록 한다.2. 기초이론 및 원리1)스퍼터링(sputtering)이란?이온원자target surfaceㅡ 글로우 방전에서 발생

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.11.16

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  스퍼터링, sputtering

  CVD 증발법 스퍼터링 이온 플레이팅 장치의 구성 01 Sputtering 장치의 구성 D.C Sputtering 장치 개략도 장치의 구성 Pumping : 배기속도와 진공도

  리포트 | 38페이지 | 3,800원 | 등록일 2016.01.04

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  sputtering (스퍼터링)

  적으로 분리되어 다른 기판에 쌓이게 함으로 박막층이 만들어지게 하는 방법을 물리 기상 증착법이라고 한다. 크게 sputtering과 evaporation으로 나눌 수 있다.스퍼터링 (s ... puttering)의 원리스퍼터링은 DC 또는 RF 전원이 두 전극 사이에 가해지면 음극에서 방출, 가속된 자유 전자가 전극 사이 Ar 원자와 충돌하며 이온화를 시킨다. 이 ... 는 웨이퍼 기판에 증착하게 되는 것이다.스퍼터링 방법은 다음과 같은 장, 단점이 있다.장점 :- 넓은 면적에서 균일한 박막 두께 증착 가능- 다양한 재료의 증착 가능- 박막 두께의 조절

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.12.07

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  RF 스퍼터링으로 증착된 하이드록시아파타이트 박막의 ESCA 분석

  한국재료학회 정찬회, 이준희, 김순국, 김명한, 유재근, 김승언

  논문 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  반응성 스퍼터링된 산화 티타늄 박막의 결정화 특성

  한국재료학회 이필홍, 고경현, 안재환, 이순일

  논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  전해 크롬도금 대체용으로서의 CrC 스퍼터링에 관한 연구

  한국재료학회 임종민, 최균석, 이종무

  논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  [고체 물리] 스퍼터링 결과 보고서

  Sputtering 실험1. 실험결과TargetCuSubstrate(name-orientation)SiliconChamber pressure(Torr)6.6 TIMES 10 ^{-3}Ar Flow(sccm)18Growth time(minute)402. 토의사항우리 실험..

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.07.30

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  RF 스퍼터링으로 증착된 하이드록시아파타이트 박막의 열처리 특성

  한국재료학회 정찬회, 이준희, 신윤학, 김명한, 최석환, 김승언

  논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  스퍼터링으로 제조된 니켈실리사이드의 미세구조 및 물성 연구

  한국재료학회 안영숙, 송오성, 이진우

  논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 증착한 IGZO 박막트랜지스터의 특성

  한국재료학회 김성연, 명재민

  논문 | 4페이지 | 3,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  원통형 스퍼터링 장치로 제작한 Ti 및 Al 박막구조

  한국재료학회 오창섭, 한창석

  논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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