Fundamentals ofMICROFABRICATIONThe science of miniaturizationSecond EditionMarcJ.MadouChapter 1 ... . Lithographic sensitivity and Intrinsic Resist Sensitivity4. Resist Profile5. Contrast and experimental ... 는 여러 가지 현상들을 나타내주는 그림이다.9) Mathematical expression for resist profile양성PR의 slope은 현상에서 주도적인 영향을 받게 되