"스퍼터링" 검색결과 21-40 / 776건

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  DC 및 RF 스퍼터링법으로 증착한 Cr 박막의 특성 비교

  한국재료학회 박민우, 이종무

  논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  스퍼터링(Sputtering) 결과 레포트

  결과 레포트Thin Film 공정 : Sputtering윤영훈차례1. 실험 목적2. 실험 원리1) 글로우 방전2) 스퍼터링3) RF4) 기타 도구 및 용어3. 실험 과정4. 실험 ... 증ow Discharge) 영역이다. 스퍼터링 박막 공정에서 사용하는 영역은 바로 비정상 글로우 방전 영역이다.Sputtering을 일으키기 위해서는 공정 중에 지속적인 양이온 ... 지 않아 방전을 계속할 수 있는데 이가 바로 RF 글로우 방전이다.(2) 스퍼터링 (Sputtering)플라즈마를 가속하여 에너지를 증가시킨 다음 충돌시키면 물질의 표면에서 원자

  리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2015.05.18

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  저온분사법에 의해 제조된 Cu-Ga 타겟의 스퍼터링 특성평가

  한국분말야금학회 조영지, 유정호, 양준모, 박동용, 김종균, 최강보, 장지호

  논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.05.03 | 수정일 2023.04.05

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  RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 SrTiO3박막제조와 유전특성

  한국재료학회 김병구, 손봉균, 최승철

  논문 | 9페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  스퍼터링

  재료 공학 실험 예비레포트Sputtering...제출일 : 2006년 4월 13일◎ Sputtering 의 종류1. 직류 스퍼터링 (DC Sputtering)스퍼터링 방법 ... 은 스퍼터링 가스를 진공상태인 chamber에 주입하여 증착시키고자 하는 타겟물질과 충돌시켜 플라즈마를 생성시킨 후 이를 기판(substrate)에 코팅시키는 방법이다. 일반적으로 사용 ... 되는 스퍼터링 가스는 불활성 가스(inert gas)인 Ar을 사용한다. 여러 가지 불활성 기체가 있으나 가격등 여러 가지 측면을 고려했을때 Ar이 적당하다. 스퍼터장치의 시스템

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.09.21

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  Si 기판상에 DC 마그네트론 스퍼터링방식에 의한 Pt(200) 박막의 배향성장

  한국재료학회 장지근, 김민영, 박용익, 장호정

  논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 CdS 박막의 CdCl2 열처리 효과

  한국재료학회 최수영, 천승주, 정영훈, 이승훈, 배수현, 탁성주, 김지현, 김동환

  논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO:Er 박막형광체의 발광 특성

  한국재료학회 송현돈, 김영진

  논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  반응성 스퍼터링법으로 제조된 anatase TiO2박막의 미세조직에 관한 연구

  한국재료학회 최용락, 김선화, 이건환

  논문 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  RF 스퍼터링방법에 의한 제2고조파소자의 광학박막 제작

  한국재료학회 김용훈, 이성국, 마동준, 한재용, 박성수, 이상학

  논문 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  Rf 마그네트론 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 RuO2 박막의 특성분석

  한국재료학회 조호진, 홍석경, 조해석, 양홍근, 김형준

  논문 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  스퍼터링 장비(펌프,게이지,Sccm)

  예비보고서 (4/27)윤영훈주제 : RF-magnetron sputtering을 이용하여저온증착 ZnO 및 고온증착 ZnO 박막의 증착 및 분석1. 오일로터리 펌프, 터보 펌프2. 이오닉게이지, 컨벡션게이지, 바라트론 게이지 작동원리3. Sccm단위 알아오기1. 오일로..

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.05.18

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  스퍼터링 타겟재의 응용을 목적으로 하는 탄탈륨 소결체의 제작 및 평가

  한국재료학회 장세훈, 최정철, 최세원, 오익현

  논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  AIP 와 스퍼터링으로 복합증착된 420 스테인리스강의 TiN과 CrN 박막에 미치는 중간층의 영향

  한국재료학회 최웅섭, 김현승, 박범수, 이경구, 이도재, 이광민

  논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 Al이 첨가된 ZnO 투명전도막의 전기적 특성

  한국재료학회 김진용, 이용의, 조해석, 이동현, 김영진, 김형준

  논문 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  스퍼터링

  Sputteringwww.kyungwon.ac.kr방전 및 고전압차 례PVD and CVD스퍼터링이란....스퍼터링의 기본 원리스퍼터링의 종류Thin film Deposition ... 하여, 표면밖으로 튀어 나오게 된다. 이러한 현상을 스퍼터링 현상이라고 부르고 있다. 이 현상은 1842년 Grove에 의해서 발 견되고 박막에의 이용은 1870 년대부터 행해져 왔 ... 는데, 실용화되어 공업기술로서 넓게 이용되게 된것은 1930 년 이후라고 한다.스퍼터링의 기본1. 글로우 방전양측글로양극암부아스톤암부음극글로쿠룩스암부부글로페러데이암부양광주전 위직류

  리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.10.20

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  투명전극(ITO)과 진공펌프 및 게이지와 스퍼터링의 종류들과 원리

  전자재료 물성실험 예비 레포트투명전극(ITO)과 진공펌프 및 게이지와 스퍼터링의 종류들과 원리목차1.투명전극1.1투명전극의 정의 및 조건1.2투명전극의 종류1.3투명전극의 원리2 ... .진공펌프2.1진공펌프의 정의2.2전공펌프의 종류2.3진공펌프의 원리3.진공 게이지3.1진공 게이지의 정의3.2진공 게이지의 종류 및 원리4.스퍼터링4.1스퍼터링의 정의4.2 ... 스퍼터링의 종류4.3스퍼터링의 원리1.투명전극투명전극은 통상 80% 이상의 고투명도와 면저항 500 Ω/sqm 이하의 전도도를 가지는 전자 부품으로 LCD 전면 전극, OLED 전극 등

  리포트 | 22페이지 | 2,500원 | 등록일 2019.07.03 | 수정일 2019.07.04

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  마그네트론 코스퍼터링법으로 형성한 SiO2/Si 양자점 초격자 구조의 특성

  한국재료학회 박영빈, 김신호, 하린, 이현주, 이정철, 배종성, 김양도

  논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  KLN 스퍼터링용 타겟의 제조 및 코닝 1737 유리 기판위에 성장시킨 박막의 광학적 성질

  한국재료학회 박성근, 서정훈, 김성연, 전병억, 김진수, 김지현, 최시영, 김기완

  논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  마그네트론 스퍼터링 증착 조건에 따른 SnO2 박막의 미세구조와 가스검지특성 변화

  한국재료학회 김종민, 문종하, 이병택

  논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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