성분분석기

소개

AES, EDX, RBS에 대한 레포트

목차

1. Auger Electron Spectroscopy (AES)
2. EDX (Energy Dispersive X-ray Fluorescence Spectroscopy)
3. Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS)

본문내용

1. Auger Electron Spectroscopy (AES)
수백 Angstrom크기로 집속된 electron beam을 재료표면에 입사시켜 방출되는 Auger 전자의 에너지를 측정하여 재료 표면을 구성하고 있는 원소의 종류 및 양을 분석해내는 표면 분석 장치.

(1)Auger Image Mapping : 이차원 표면에 존재하는 특정원소의 분포상황을 보여주는 것으로 electron analyzer의 에너지 범위를 분석하고자 하는 원소의 Auger 특성 에너지값을 포함하도록 설정한 후 전자빔을 분석면에 주사시켜 위치별로 감지된 Auger특성 피크의 신호경도에 따른 명암 차이로 나타내는 것
(2)Auger Spectra : 점 또는 면에 존재하는 원소의 정성, 정량분석 가능.
- 정성분석 : 에너지별 전자 신호 강도 N(E)를 측정하여 원소별 Auger특성 피크를 확인하여 원소의 종류를 알 수 있음.
- 정량분석 : 원소별로 Auger 특성 피크를 포함하는 에너지 범위를 설정하여 N(E)를 측정하고 원소별 감도인자(element sensitivity factor)를 고려하여 원소별 조성비를 얻을 수 있음.
(3)수직분포 분석(Depth Profiling)
시료표면에 에너지가 큰 불활성기체로부터 발생시킨 양이온(Ar+)을 충돌시킴으로써 표면을 분당 수~수십Å까지의 깊이에 따른 조성변화와 화학적 상태변화를 분석하는 방법. 이온 식각은 Ion gun에 의하며, 보통 computer에 의해 자동적으로 이온 식각과 스펙트럼 측정을 순차적으로 진행시키면서 결과를 얻음.
◆Charging Effect
유전물질의 분석시 전자 또는 일차이온과 같은 하전입자의 유입과 이차이온 및 이차전자의 발생으로 인해 시료표면에 전하가 축적됨으로써 발생하는 현상.
<충전효과의 제거방법>
- 유전체의 두께가 얇을 경우은 입사 전자선의 에너지를 높임
- 유전체의 두께가 두꺼울 결우에는 입사 전자선의 에너지를 낮추고 시료 표면과 이루는 각도를 작게 함.
- 시료표면의 전기전도도를 향상시키는 전처리 : 표면 gold coating, silver paste로 처리.

참고자료

· 1) Jobin Yvon Horiba : www.jykorea.co.kr
· 2) Nano Optic Detection Technology : blog.naver.com/nanomate
· 3) Alphalight : www.alphalight.co.kr
· 4) 브리태니커 백과사전
· 5) BMS : www.bmsmall.co.kr
· 6) 하이텍교역주식회사 : www.hitek.co.kr
· 7) 과학기술정보포털서비스 : www.yeskisti.net
· 8) 영인과학 : www.youngin.com
· 9) OBLF SPEKTROMETRIE : www.oblf.de