Capacitance manometer&Pirani

소개

마노미터와 피라니 게이지의 장단점과 특성 비교

목차

Vacuum Gauge 개념
진공 게이지의 분류
원리 및 특징
게이지 개략도
취급시 주의 사항
Trouble shooting

본문내용

Vacuum Gauge 개념
진공의 정도는 일반적으로 진공 용기속에 남아 있는 기체의 압력으로 표현되는데 우선 압력을 직접 측정하는 경우와 기체가 지닌 다른 물리적 특성(열, 전기적 성질 등)을 이용하여 간접적으로 측정하는 방법이 있는데 민감도가 후자의 경우다 더 좋으므로 대부분의 진공 게이지, 즉 압력계는 기체가 가진 열 또는 전기적 특성을 이용하고 있다. 이들 물리량은 나중에 보정과정(calibration)을 통하여 압력으로 변환된다
취급시 주의사항
물리적 특성이 기체마다 다르므로 대부분의 경우 질소에 대한 압력으로 눈금이 보정되어 있다. 따라서 종류가 다른 기체를 사용하거나 혼합된 기체를 사용할 때는 따로 보정값을 찾아 그 기체의 압력으로 변환하든지 하여야 올바른 기압을 측정할 수 있다.
진공 게이지의 분류
Vacuum Gauges
Pressure Ranges of Various Vacuum Gauges
Capacitance manometer (Baraotron)
Pirani
(convectron)_
바라트론 캐패시턴스 마노미터는 일반적으로 ±15 volt의 파워를 필요로 하고 0-10 volt 압력 시그널 (압력에 직접적으로 비례하는)을 가지는 압력 트랜스듀서이다 또한 실제 압력값을 측정한다(센서내부의 압력). 이것은 측정방식이 가스의 종류에는 별 영향을 받지 않음을 의미한다. 피라니나 써모커플, 이온게이지처럼 다른 게이지군은 실제 압력을 측정하지 않으므로 그 게이지들의 읽는 수치는 가스의 종류에 민감하게 반응한다.
저압과 진공 영역을 측정하는데 있어 많이 쓰이는 압력게이지 이며 원리는 기체의 열전도율이 저압하에서는 거의 진공도(잔류기체의 압력)에 비례한다는 것이고요. 구조는 필라멘트를 가진 관구의 한쪽 끝을 진공장치에 연결한 것이지요. 이 필라멘트에 전류를 흘려서 전기저항을 측정함으로써 온도를 통해 필라멘트에서 상실된 열을 감지하고, 그 측정값을 통해 간접적으로 진공장치 안의 진공도를 측정합니다.
원리 및 특징
게이지 개략도
바라트론 캐패시턴스 마노미터 의 게이지 개략도
피라니 게이지의 개략도
Capacitance manometer (Baraotron)
Pirani
(convectron)_
바라트론을 두드리거나 떨어뜨리지 않으며, 스판 값이나 선형성 조정 포트를 조정하면 교정하는데 변화를 가져오는 요인이 된다. 반드시 스판 값과 선형성 조정포트는 숙련된 전문가가 조정해야 하는 부분이다

참고자료

· 없음