오일 확산 펌프 ( oil diffusion pump )

소개

오일 확산 펌프 ( oil diffusion pump )

왜 진공이 필요하며 어디에 이용되는가

목차

왜 진공이 필요하며 어디에 이용되는가?
진공이란?
-특성-

본문내용

진공이란?
라틴어(vacua)에서 온 진공(vacuum)은 “비어있다”는 의미이지만, 진공기술의 목적은 물질이 없는 공간을 연구하는 것과는 거리가 멀다고 할 수 있으며, 현대 기술로는 아무리 낮은 압력에서도 공기를 빼낸 1의 작은 공간도 수백 개의 분자가 남아 있어 진정한 진공이라고 할 수는 없다. 하지만 미국 진공 학회( American Vacuum Society )의 정의에 의하면 진공이란 용어는 대기압 이하의 압력을 가진 가스들로 채워진 공간을 말한다. 즉, 분자 밀도가 2.5 X molecules/ 이하로 되어 있는 분자들이 모여 있는 공간이라고 말할 수 있다.
오늘날 진공이란 용어는 표준 대기압 이하의 상태를 말한다.
가장 낮은 압력의 한계는 진공을 만드는 펌핑 기술과 측정 기술이 발달함에 따라 계속 줄어들고 있다.
중략..
-특성-

증기를 기체 중에 분출하고 그 운동 에너지에 의해 기체를 압축하는 펌프를 분사 펌프라고 하며 그중에서 흡입하는 기체가 분자 유동 영역에 있을 때 능률 좋게 동작하는 것이 확산 펌프이다. 확산 펌프에도 여러 종류가 있으나 작동액으로 기름을 사용하는 수직형 오일 확산 펌프가 많이 사용되고 있다.
위의 그림에 있는 증기를 상생시키는 보일러, 증기를 분사하는 노즐 및 증기를 응축시키는 벽 등으로 구성 되어 있으며, 펌프 용기에는 기름 증기를 응축시켜 기름 탱크로 되돌리기 위한 수냉 냉각 코일이 감겨져 있다.
장점으로는 거의 같은 가격의 다른 진공 펌프와 비교하여 배기 속도가 크고 기계적인 가동 부분이 없기 때문에 소음, 진동의 발생이 없고 동작이 안정되어 있고, 오일 확산 펌프를 기름 회전 펌프와 결합시켜 ~ Torr의 고진공을 만들 수 있다.

참고자료

· 왜 진공이 필요하며 어디에 이용되는가