• 통큰쿠폰이벤트-통합

엘립소미터의 구조와 구동원리

*준*
개인인증판매자스토어
최초 등록일
2008.05.02
최종 저작일
2007.05
8페이지/ 한컴오피스
가격 1,000원 할인쿠폰받기
다운로드
장바구니
  • EasyAI 홍보배너

소개글

엘립소미터의 각 부문 명칭과 역할에 대한 소개와 그 구동원리에 대한 레포트입니다.
사진도 포함되어 있습니다.

목차

1. 엘립소미터의 구조와 각 부문 명칭과 역할
2. 엘립소미터의 구동원리

본문내용

2. Ellipsometry의 동작원리에 대해 서술하시오.

① null ellipsometry
가장 먼저 사용된 기술로 측정속도가 너무 느린 점이 있으나 그 정확성 때문에 아직도 많이 사용하고 있다. 그 구성면에서 보면
Null ellipsometer의 구조. 각 A, P, C, 그리고 입사각 중 일부를 움직인다.

polarizer-compensator-sample-analyzer(PCSA)로 되었는데 시편을 제외한 광부품의 위치각 또는 입사각을 detecter에 빛이 들어오지 않을 때까지 조절하여 그 때의 광부품의 위치로 ellipsometry 각 (Δ, Ψ)를 찾아내는데 이와 같이 detecter에 들어오는 빛이 없도록 하는 것을 ‘null(또는 nulling, 소광)’시킨다고 한다. 즉, 시편에서 반사된 빛이 선편광이 되도록 polarizer와 compensator의 위치각과 retardation 각이 조합을 이루어야 하고 (때로는 입사각을 바꿀 때도 있으며 compensator의 경우 위치각은 일반적으로 고정) 이때 analyzer의 편광축을 이 선형편광에 수직이 되도록 돌려보면 null 점을 찾을 수 있게 된다. 처음에는 빛의 감지를 육안에 의존하였으나 점차 PMT 등의 detecter를 이용하여 그 불편을 크게 줄이게 되었고 정확성도 향상시켰다. 또한 nulling 시키는 작업이 수동이었기 때문에 한 파장(또는 광량자 에너지)에서 한 쌍의 (Δ, Ψ)를 측정하는데 수 분에서 십 수분은 족히 걸리고 눈의 피로가 심하여 이 원리를 이용하는 분광 ellipsometry는 생각도 못하였다.
보통 compensator의 위치각은 입사면에 대해 45도로 고정시킨 채 polarizer와 analyzer 만의 위치각을 조절하여 null점을 찾는다. 아주 정확한 실험을 위해 3개의 광부품을 회전시키면서 0.01도의 정밀도로 측정해야 된다.

참고 자료

없음

자료후기(1)

*준*
판매자 유형Bronze개인인증

주의사항

저작권 자료의 정보 및 내용의 진실성에 대하여 해피캠퍼스는 보증하지 않으며, 해당 정보 및 게시물 저작권과 기타 법적 책임은 자료 등록자에게 있습니다.
자료 및 게시물 내용의 불법적 이용, 무단 전재∙배포는 금지되어 있습니다.
저작권침해, 명예훼손 등 분쟁 요소 발견 시 고객센터의 저작권침해 신고센터를 이용해 주시기 바랍니다.
환불정책

해피캠퍼스는 구매자와 판매자 모두가 만족하는 서비스가 되도록 노력하고 있으며, 아래의 4가지 자료환불 조건을 꼭 확인해주시기 바랍니다.

파일오류 중복자료 저작권 없음 설명과 실제 내용 불일치
파일의 다운로드가 제대로 되지 않거나 파일형식에 맞는 프로그램으로 정상 작동하지 않는 경우 다른 자료와 70% 이상 내용이 일치하는 경우 (중복임을 확인할 수 있는 근거 필요함) 인터넷의 다른 사이트, 연구기관, 학교, 서적 등의 자료를 도용한 경우 자료의 설명과 실제 자료의 내용이 일치하지 않는 경우

이런 노하우도 있어요!더보기

최근 본 자료더보기
유니스터디 이벤트
엘립소미터의 구조와 구동원리
  • 유니스터디 이벤트
AI 챗봇
2024년 11월 25일 월요일
AI 챗봇
안녕하세요. 해피캠퍼스 AI 챗봇입니다. 무엇이 궁금하신가요?
4:49 오후
문서 초안을 생성해주는 EasyAI
안녕하세요. 해피캠퍼스의 방대한 자료 중에서 선별하여 당신만의 초안을 만들어주는 EasyAI 입니다.
저는 아래와 같이 작업을 도와드립니다.
- 주제만 입력하면 목차부터 본문내용까지 자동 생성해 드립니다.
- 장문의 콘텐츠를 쉽고 빠르게 작성해 드립니다.
이런 주제들을 입력해 보세요.
- 유아에게 적합한 문학작품의 기준과 특성
- 한국인의 가치관 중에서 정신적 가치관을 이루는 것들을 문화적 문법으로 정리하고, 현대한국사회에서 일어나는 사건과 사고를 비교하여 자신의 의견으로 기술하세요
- 작별인사 독후감