진공 게이지

소개

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목차

1. 진공 게이지의 분류
2. 직접 측정 게이지(direct measurement gauge) : 주로 저진공에서 사용한다.
2-1. 액주형 기압계(liquid column manometer)
2-2. McLeod 게이지 등...

본문내용

1. 진공 게이지의 분류
진공게이지는 그 기능별로 여러 가지로 분류가 가능하다.
측정 기체의 구분 여부에 따라
- 전압 측정(total pressure measurement) : 대부분의 게이지가 이에 해당하는데 압력을 발생시킨 기체의 종류에 대한 정보는 알지 못한다.
- 분압 측정(partial pressure measurement) : 기체의 구성원소별 압력 또는 밀도를 측정 한다.
측정한 물리량이 압력인지 아니면 압력으로 변환 가능한 다른 물리량인가에 따라
- 직접 측정(direct measurement) : 측정값이 압력인 경우이다.
- 간접 측정(indirect measurement) : 다른 물리적 특성을 측정하여 압력으로 환산해야 하는데 기체에 따라 측정한 물리적 특성이 다르므로 주의가 필요하다. 진공작업에서 사 용하는 대부분이 이에 속한다. 열전도성, 이온화 정도, 전기전도성 등을 측정한다.
작동 압력의 범위에 따라
- 저진공 게이지
- 고진공 게이지
여러 가지로 개선된 게이지가 개발되고 있지만 대기압에서 초고진공까지를 측정할 수 있는 진공 게이지는 아직 없다. 따라서 진공 펌프의 경우처럼 진공 영역에 따라 2~3개의 게이지를 병용해 사용해야 한다.

2. 직접 측정 게이지(direct measurement gauge) : 주로 저진공에서 사용한다.

2-1. 액주형 기압계(liquid column manometer)
보통 그림과 같이 U자형 튜브로 되어 있는데 기준이 되는 쪽은 수은의 증기압에 해당하는 10-3 Torr정도의 진공을 유지하고 있든지 아니면 대기압에 노출되어 있고 다른 한 쪽은 측정하고자 하는 진공 시스템에 연결되어 있다. 따라서 두 수은 기둥의 차가 기압차로 나타나 기압의 측정이 가능하다.
깨지기 쉬운 유리용기와 수은의 사용 등으로 현재에는 대기압 측정 등 몇 가지 경우를 제외하고는 진공분야에서는 거의 사용하고 있지 않다.

참고자료

· 1. 안일신, ‘진공물리 및 진공기술’, 한양대학교 출판부, 1999
· 2. A.ROTH, `VACUUM TECHNOLOGY`, NORTH HOLLAND
· 3. 서울대학교 재료공학부 ‘박막공학’