[전자현미경] 전자현미경

*민*

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최초 등록일: 2004.05.28
최종 저작일: 2004.11; 15페이지/ 한컴오피스; 가격 1,000원

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SEM 이란 10-3Pa이상의 진공중에 놓여진 시료표면을 1-100nm정도의 미세한
전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 2차전자, 반사전자,
투과전자, 가시광, 적외선, X선, 내부기전력등의 신호를 검출하여 음극선관(브라운관) 화
면상에 확대화상을 표시하거나 기록하여시료의 형태, 미세구조의 관찰이나 구성원소의 분
포, 정성, 정량등의 분석을 행하는 장치이다. 주로 금속등의 도체, IC, 산화물등의 반도체, 고분자 재료나 세라믹등의 절연물의 고체, 분말, 박막시료가 표본이 된다. 주로 2차전자가 시료의 형태관찰, 반사전자나 X선이 성분분석에 사용된다.SEM의 원리구성예는 윗그림에 표시하였다. 전자선은 전자총부의 원통내의 음극(Filament) 를 가열하여발생한 전자가 양극으로 가속되어진다. 통상, 0.5~30kV로 가속되어진 전자선은 집속 렌즈와 대물렌즈의 전자 렌즈의 작용으로 최종적으로 3~100nm의 직경까지 미세해지며 시료표면에 조사 된다. 이렇게 미세해진 전자선을 전자 probe라고 부른다. 전자probe는 주사 코일에 의해 전자표면상의 X와 Y의 2차원방향으로(통상의 Television) 새롭게 설정된 면적을 주사 시킨다.

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