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숭실대 Photo-lithography 예비보고서
이번 자료는 숭실대학교 신소재공학과 <신소재 공학 실험2>레포트 입니다.
실험 수업은 시험도 물론 중요하지만, 레포트와 실험 중의 참여도 점수도 꽤 큰 비중을 차지합니다.
그런데 이번엔 학과 개편이 일어나면서 실험 내용이 전부 바뀌게 되었습니다. 조교님들도 처음해보는 실험도 있었기에 자료를 찾는 것이 어려웠습니다. 저의 레포트가 참고가 되길 바랍니다.
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한컴오피스
최초등록일 2022.10.05
최종저작일
2021.11
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소개
이번 자료는 숭실대학교 신소재공학과 <신소재 공학 실험2>레포트 입니다.
실험 수업은 시험도 물론 중요하지만, 레포트와 실험 중의 참여도 점수도 꽤 큰 비중을 차지합니다.
그런데 이번엔 학과 개편이 일어나면서 실험 내용이 전부 바뀌게 되었습니다. 조교님들도 처음해보는 실험도 있었기에 자료를 찾는 것이 어려웠습니다. 저의 레포트가 참고가 되길 바랍니다.목차
1. 실험 제목
2. 배경 및 이론
3. 참고 문헌본문내용
1. Photo-lithography의 의미 및 원리
포토리소그래피는 박막 또는 기판에 부품을 패턴화하기 위해 미세 가공에 사용되는 프로세스 이다. 다시 말하면, 복잡한 회로 패턴을 제조하는 방법을 뜻한다.참고자료
· 디스플레이공학 개론, 텍스트 북스, 김억수, 2014
· 반도체용 포토레지스트의 연구 개발 동향, 화학공학의 이론과 응용, 김상태, 2004태그
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자료후기
Ai 리뷰실험 개요와 이론적 배경이 잘 정리되어 있으며, 포토리소그래피의 중요성과 원리를 상세히 설명하고 있습니다.
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