ASML EUV 완벽 정리 - 삼성전자가 EUV 사용하는 이유, EUV 동작 원리와 EUV 대표 특징

소개글

포토리소그래피와 EUV의 차이점을 알고 싶은 분
삼성전자 포토 공정 기술에 지원하고자 하는 분
ASML에 지원하고자 하는 분께
해당 파일을 추천드립니다.

목차

1. EUV 동작 원리와 EUV특징
2. 삼성전자가 EUV를 사용하는 이유
3. 해상도와 초점심도 차이
4. EUV가 월등히 좋은 이유 5가지

본문내용

1. EUV를 사용하는 이유
반도체는 L값을 줄여야한다. 이 L값을 줄이는 이유는 wafer 당 생산 칩의 증가로 단가를 낮추고 전력 소모도 낮추는 목적이 있다. 메모리같은 경우 용량 극대화에 도움이 되고 Logic 칩 같은 경우에도 성능에 도움된다.
우리가 포토리소그래피 과정에서 살펴보면 그려야하는 그림의 크기가 작아지는것과 같다. 연필심이 커지면 자세한 그림을 그리기 어렵다. 그래서 가늘어진 연필심이 미세한 그림을 그리는데 유리하다. 그러면 포토 공정에서 이 연필심의 역할을 하는 건 무엇일까? 연필이 빛이라고 하면 연필심은 빛의 파장이라고 볼 수 있다.

2. 포토공정에서 중요한 변수 2가지
1. resolution(해상도)
좀 더 정밀한 그림을 그리기 위해선 레졸루션을 낮춰야하고 DOF를 높여야한다. K1과 K2는 쉽게 건들이기 어렵다고 볼 때, NA를 크게 해보자.
그러면 resolution은 작아질텐데 DOF를 보면 NA의 스퀘어 승이 분모에 있는 걸 볼 수 있다.

참고 자료

없음