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"모스펫 실바코 예제 해석"에 대한 내용입니다.목차
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Id / Vgs 곡선을 시뮬레이션하고 임계 전압 및 기타 SPICE 매개 변수를 추출하는 기본 MOS Athena to Atlas 인터페이스 예제. 이 예제에서는 간단한 기능을 보여주기 위해 고급 기능이 사용되지 않습니다. 이 예는 다음을 보여줍니다.
Athena에서 MOS 트랜지스터의 공정 시뮬레이션
공정 매개 변수 추출 (예 : 산화물 두께)
Athena와 Atlas 간의 자동 인터페이스
Vds = 0.1V로 Aimple Id / Vgs 곡선 생성
Vt, 선형 이득 (베타) 및 이동성 롤오프 (세타)에 대한 매개 변수 추출
SSuprem 4의 공정 시뮬레이션은 표준 LDD MOS 공정을 따릅니다. 프로세스 단계가 단순화되고 기본 모델이 사용되어 빠른 런타임을 제공합니다. 폴리 실리콘 게이트는 단순한 기하학적 식각으로 형성됩니다. 이 시점 이전에는 시뮬레이션이 기본적으로 1 차원이므로 Athena의 1D 모드에서 실행됩니다. 폴리 에칭 후 구조가 2D로 변환됩니다.
참고자료
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