1. 개 요
압력은 주로 유체량의 계측에 관계된 양으로서 온도와 더불어 프로세스 에서 중요한 변수이다. 압력 측정은 오랜 옛날부터부르돈관(Bourdon-Tube) , 포텐션미터 , 차동트랜스 ,광전자 등여러가지를 이용하였다. Bourdon-tube,포텐션미터 등은 오랜 기술축적으로 사용하기 쉬우나 기계량을 전기량으로 변환하는 기법이므로 가동 또는 습동부분 이 필요하여 소형화,신뢰성 향상 등에 한계가 있다.한편 수압 소자에 반도체를 이용하고자 하는 연구는 1950년대부터 시작되어 최근 각종 반도체 기술진보와 신뢰성 향상 및 소형화추세에 따라 급속히 발전하고 있다.
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