나노화학실험 CVD 예비보고서

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목차

1. 실험제목
2. 실험목적
3. 이론 및 키워드

본문내용

1. 실험제목 : CVD(Chemical Vapor Deposition)

2. 실험목적 : 반응성이 강한 기체 상태의 화합물을 반응 장치 안에 주입하여 이를 빛,열,또는 플라즈마 등으로 활성화시켜 박막을 형성한다.

3. 이론 및 키워드
[1] 진공
[1.1] 정의 : 물질이 전혀 존재하지 않는 공간을 의미하지만,실제로는 이렇게 만들기 때문에 대기압보다 낮은 압력을 가지는 계를 진공이라 부른다.물질분자가 하나도 없는 상태를 완전 진공,절대 진공,이상 진공이라 한다.

<중 략>

[3] Pump 종류 및 원리
[3.1] Rotary Vane Pump
-원리
① 흡입 : rotor가 회전하면서 기체 분자를 펌프안으로 주입시킨다.
② 고립 : vane이 흡입구를 차단해 기체분자들이 외부로부터 고립된다.
③ 압축 : vane이 회전하면서 기체분자들을 압축시킨다.
④ 배기 : 기체분자들이 배기되면서 반대쪽에선 기체가 흡입된다.
-특징
① High, Ultra high vacuum pump의 backing pump로 활성된다.
② Oil backstream이 일어날 수 있다.(solution : trap / baffle)
③ Oil이 산화되면서 문제가 발생하기에 주기적인 교체가 필요하다.
④ Dead Volume이 생긴다.
Cf) Back Stream : Pump oil이 증기상태로 진공용기 쪽으로 이동하는 현상으로,진공용기 오염의 주 원인이다.

참고 자료

없음