PVD 증착법 예비 보고서 [A+ 레포트]

목차

1. Rotary pump
2. Diffusion pump
3. 여러 Pump의 비교
4. PVD

본문내용

1. Rotary pump
진공펌프란, 기체를 압력이 낮은 곳에서 높은 곳으로 에너지를 소모하며 이동시키는 장치이다. 이러한 진공펌프를 기체를 배기시키는 방법을 기준으로 두 분류로 나누자면, 가스배출방식과 가스포집방식으로 구분할 수 있는데 이 중 가스배출방식의 대표적인 형태의 진공펌프는 Rotary pump이다. Rotary pump란 회전펌프라고 불리며 기체를 배출하여 진공상태를 만들기 위한 배기장치이다.Rotary pump의 작동원리는 밑의 그림과 같이 흡입→고립→압축→배기의 순서이다. 내부는 원통형의 공간이 있으며, 이는 실린더라 부른다. 기체가 들어오는 흡입구와 배출구가 달려있다.

‘흡입’과정에서 로터가 회전하면, 흡입구를 통해 기체분자가 펌프 안으로 들어오게 된다. 로터가 조금 더 회전하여 ‘고립’과정이 되면 흡입구가 차단되어 기체분자들은 외부와 단절되어 고립된 상태가 된다. ‘압축’과정에서는 로터가 회전함에 따라 배기구 방향으로 밀려나게 된다. 마지막으로 ‘배기’가 이루어지면서 반대쪽 흡입구에서는 다시 기체분자의 흡입이 이루어진다. 이런 과정이 계속하여 반복되면서, 기체분자를 이동시켜 진공상태를 만들어 낸다. 이 과정을 통해 1Pa(10torr) 정도의 진공상태를 얻을 수 있다. 다른 종류로는 Rotary Piston Pump가 있는데, 이는 흔히 “키니펌프 (Kinney pump)”라 불리어 지고 있는 펌프로서 기본 작동 원리는 옆의 그림과 같습니다. 실린더의 중심과 편심이 되어있는 로터가 실린더의 축을 중심으로 캠(Cam) 운동을 하고 있고, 피스톤이 로터의 표면에 밀착된 상태로 왕복 운동을 하면서 실린더가 두 개의 공간(Cell)으로 분할됩니다.

참고 자료

http://c6n7o8.blogspot.kr/, DK Yang님이 6th April 2013에 게시
http://vp21.co.kr/subs/sub2_1.htm
http://www.sntek.com/thesis/vaccum_pump.pdf
http://www.kemco.or.kr/up_load/blog/%EC%A7%84%EA%B3%B5%EC%9D%98%20%EA
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8C@4[1].pdf
PVD에 대하여, 백승준, 윤여경 2011. 04. 28