[과학기술] 전자현미경발달사

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전자현미경(電子顯微鏡, electron microscope)이란 광학현미경의 광선 대신에 전자빔(電子線), 광학 렌즈 대신에 전자 렌즈를 사용하여 형광면 위에 물체의 확대상을 결상(結像)시켜 관찰하는 현미경이다. 광학적 현미경의 배율은 대체로 2,000배정도 밖에 안되는데 이것은 렌즈의 배율은 크게 할 수 있으나 분해능(分解能)에는 자연 한계가 있기 때문이다. 그러나 전자선을 사용한 전자현미경은 광학현미경의 1,000배나 되는 높은 분해능을 얻을 수 있고, 배율도 100만배 이상까지 할 수 있다. 현재 전자현미경의 해상력의 한계는 약 2 x 10-8cm(2Å)이다. 전자현미경은 결상 방법이나 사용목적에 따라 여러 종류로 분류되지만 대체로 투과형(透過型)·표면방출형·주사형(走査型)의 3종류로 구분된다. 대개 전자현미경이라고 하면 투과형을 말하게 된다.

전자현미경의 발전은 입자무리와 전자 기기학의 발전과 궤를 같이 한다. 전자현미경의 근원은 1929년에 독일의 Ernst Ruska가 음극관의 연구 중에 직경 0.3mm인 양극 조리개의 영상을 확대시킨 실험에 있다. 이 성과는 초점거리가 작은 전자기 렌즈를 고안할 수 있었기 때문인데, 1925년 de Broglie의 입자파동이론을 이해하지 못한 채 전자빔으로 물체의 영상을 확대시킬 수 있음을 증명해 준 기술적인 사건이었다.

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