X선 분광법의 모든것 흡수법, 발광법, 회절 등등

목차

X-선 형광법
1. 개요
2. Si(Li) X-ray Detector
3. EDAX 스펙트럼 정성분석.
4. EDAX 정량분석
5. EDAX Mapping & Linescan

X-선 흡수법
1. EXAFS의 이론
2. EXAFS의 데이터 처리
3. EXAFS 기기의 구조와 흡수계수 검출법
4. EXAFS 활용

X-선 회절법
1. X-선의 발견
2. X-선의 발생 및 성질
3. X-선 회절실험의 특징
4. X-선 회절계의 일반적인 구조
5. X-선 회절실험 준비요령 및 주의사항
6. X-선 회절 분석시 주사회전축에 따른 차이점

본문내용

Energy Dispersive Spectrometer (EDS 또는 EDAX)는 전자현미경에 부착되어 시료의 성분을 분석하는 장비로서 고 에너지의 전자빔이 시편과 반응하여 시편의 구조 및 화학조성정보를 간직한 다양한Signal 중 특성 X-ray를 이용하여 시편의 성분을 분석합니다. 입사빔에 의한 내각 전자의 방출로 원자에 발생하는 Deexitation과정 동안 생성되는 특성
X-ray를 이용하는 성분 분석 방법은 특성 X-ray의 에너지를 이용하는 EDAX와 특성 Xray의 파장과 양을 측정하여 정성분석과 정량분석을 하는 Wave Length Dispersive X-ray Spectroscopy (WDS)가 있습니다.

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1. 시료에 대한 제한이 적고, 시료를 파괴함이 없이 측정가능하고 측정시간 은 수십분 정도이다.
시료는 금속, 합금, 무기화합물, 암석광물, 유기화합 물, 폴리머, 생체재료 등 무엇이든 가능하고, 결정질 및 비정질재료 모두 측정가능하고, 분말시료든지 판상, 액체, 리본, thin film시편에 대해서도 측정 가능하다.
2. 물질의 정성분석 가능.
물질의 결정구조와 화합형태가 다르면 회절패턴의 형태가 변화한다. 따라서, 표준물질의 데이터 파일과 대조해서(JCPDS card이용) 물질을 구별할 수 있다.
3. 격자상수를 정밀하게 구함.

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3) 축으로 주사 (Fixed -2 scan, Rocking-curve)
그림. 15와 같이 X-선원과 검출기의 각도를 2?로 일정하게 고정시키고 시편을 의 위치부분에서 변화시켜 주는 방법이다. 이 방법은 그림. 16과 같이 시편의 방향성의 정도를 알아보는 방법으로 Rocking curve의 폭이 작을수록 방향성이 크다는 것을 의미한다. Crystal M(그림. 15)은 단결정으로 X-선 빔을 단색 평행빔으로 만들어 주는 역할을 하는데, 본 Xray실에는
사용하지 않고 M의 위치에 X-선원을 바로 놓는다. 그러나 이 방법으로는 박막이 우선방위 성장을 한 것인지 epitaxial 성장을 한 것인지 알아볼 수 없으며, 이를 알아보기 위해서는 Pole-figure를 측정하여야 한다.

참고자료

· 없음