펌프의종류 레포트

목차

1. Gas Transfer pump,Rotary pump
1) Rotary pump
2) Diffusion pump
3) turbo-molecular pump

2. Entrapment pump
1) Cryopump
2) Ion pump

3. Gas Transfer Pump

4. Entrapment pump

본문내용

positive displacement 펌프로 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 rotary pump, turbo-molecular펌프 등 대부분의 기계적인 펌프가 여기에 속한다.
1) rotary pump

로터리 펌프는 정지자(stator), 회전자(rotator) 그리고 vane에 의해 흡입(A), 압축(B,C), 배기(D)의 과정을 거쳐 작동하게 된다. 베인은 스프링 또는 원심력에 의해서 실린더 내면에 밀착된 상태로 돌아가게 되는데, 이때 베인과 베인 사이에 공간이 생기게 되고 이 공간은 로타의 회전에 따라 용적이 달라지게된다.

<중 략>

흡입 팽창 압축 배기
2) Diffusion pump
유확산 펌프는 노즐 세트와 외통으로 구성되어 있어 하부의 보일러에서 작동액체를 가열 증발시켜 위부의 노즐로 고속도로 분출 시킨다. 이 분류 속에 펌프입구에서 입사하여 온 기체분자가 기름증기와 충돌하여 보조진공 측에 수송 된다. 기름증기는 외통에 도달한 후 냉각 응축하여 보일러에 돌아간다.
유확산 펌프의 도달압력은 작동기름의 증기압으로 결정된다. 도달압력을 내릴려면 증기압이 낮고 고온에서의 열분해와 산화에 강하며 저불점 불순물이 작은 양질의 기름을 선택해야 한다.오일 산화 등에 따른 역류를 방지하기 위하여 펌프에 사용되는 오일은 다음과 같은 성질을 만족하여야 한다.

<중 략>

전압은 약 5 kvolt 정도이고 자기장은 전자에 회전운동을 유도하여 곧바로 anode로 가는 것을 방지하고 기체분자와 충돌할 수 있는 확률을 높이게 된다. 전자는 나선형 운동 중에 기체 분자와 충돌하여 이온화시키고, 이온화된 기체는 cathode 쪽으로 급격히 가속되어 배기 과정이 이루어지게 된다. 이때 약하게 충돌한 이온은 cathode에 묻히게 되면서 제거되고, 강하게 충돌한 이온은 티타늄 cathode를 sputter하여 새로운 티타늄 표면을 형성하여 gettering으로 기체입자를 붙잡는다. (새로운 티타늄 표면은 기체입자와 화합물을 형성하거나 증가된 표면에너지를 줄이기 위해 분자결합을 함으로써 기체입자를 제거하게 된다.)

참고자료

· 없음