SEM 이미지 생성원리 & OM과 SEM 이미지 생성 차이

소개글

SEM Image 생성에 대한 원리 설명입니다.

목차

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본문내용

1. SEM Image의 생성 원리에 대해서 설명하시오.
(1) SEM Image 생성 원리
SEM에 있어서 영상형성 과정은 광학현미경이나 TEM과는 다르다. 이들 현미경은 빛이나 전자빔이 시편을 통과하여 변형되어서 대물렌즈에서 유용한 영상으로 형성되며 순간적으로 존재하는 반면, SEM에서는 실제의 대물렌즈가 없을 뿐 아니라 영상도 순간적인 것이 아니다. 초점이 맞추어진 전자빔에 의해 시편의 아주 작은 부분에서 신호가 발생되면 detector는 이러한 신호들(secondary electron, back-scattered electron 등)에 민감하게 반응하여 그 강도를 이용 CRT의 출력을 조절하는데 감지되는 신호의 강도에 의해서 밝기가 결정되어 시편 위를 전자빔이 scanning하면 CRT의 ‘pel`이라고 하는 화면효소의 밝기가 변화된다. CRT의 빔은 1,000개의 수평선으로 이루어지며 각 선은 1,000개의 pel을 포함하여 CRT의 영상은 0.1mm2 크기를 가진 106개의 pel을 포함한다. 이를 0.1mm 내외를 식별하는 인간의 눈에 비교하면 매우 고감도의 영상이라 할 수 있다.
CRT 화면은 1,000mm2로 일정하지만 배율을 높이면 시편의 주사면적이 감소하여 주사빔은 더 작은 크기로 초점이 맞추어져야 한다. 일반적으로 적당한 탐침크기(probe size)는 주어진 배율에서 pel의 크기와 동일하며 탐침크기가 너무 크면 여러 pel이 겹쳐지는 결과를 초래하며 너무 작으면 시편의 어떤 부분은 전혀 주사하지 못하는 결과를 나타낸다. 그러나 실제로는 인간의 눈이 지니는 인지가능 범위를 고려하면 영상의 질이 나빠지지는 않는 한도 내에서는 2개의 pel이 겹쳐져도 무방하다.

참고 자료

Physical metallurgy principles / Robert E. Reed-Hill,Reza Abbaschan / Cengoge learning
주사현미경의 기초 / 황인옥 / 반도출판사
투과전자현미경학 개론 / 성창모 / 반도출판사
http://epartsmall.com/bbs_detail.php?bbs_num=296&tb=board_equipment
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http://spe.sysu.edu.cn/course/course/10/build/lesson6-2.htm
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http://blog.naver.com/nanomate/110010974901