PDMS 패턴 예비

소개글

나노화학

목차

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본문내용

일시
2011. 4. 12.
제목
Benchtop Nanoscale Patterning Using Soft Lithography
목적
Soft Lithography에 흔히 사용되는 PDMS를 이용하여 nanoscale master를 만들어 본다.
원리
Soft Lithography
기존의 nano pattern 제조공정은 그 비용이 비싸고 크기 역시 기술적 한계에 의해 만족할 정도로 작게 만들지 못하는 치명적인 단점이 존재한다. 이를 개선하기 위해 연구된 부분이 Soft Lithography인데, 이는 기본적으로 PDMS master 및 molding, etching 등의 산업적으로 기본이 되는 공법과, SAMs (Self-assembled monolayers, 자기조립단분자막)을 이용하여 비용을 절감하는 한편, AFM(Atomic Force Microscope)의 tip을 이용하여 기판에 thiol분자 등으로 패턴을 직접 그리는 Dip-pen lithography 등을 이용하여 그 크기를 획기적으로 줄이는데 그 목적이 있다. 또한, 그 공정 역시 매우 간단하기 때문에 큰 전문연구소가 아닌 일반 대학의 연구실 스케일에서도 연구 및 실험이 가능하다.
PDMS stamp
플라스틱의 일종인 PDMS(polydimethylsiloxane)는 원료물질을 경화제와 혼합한 후 특정한 패턴이 새겨진 양각의 photoresist를 이용하여 굳히게 되면 음각의 형태를 지닌 몰드(mold)를 제작할 수 있다. 이때 PDMS몰드와 SAM(자기조립단분자막)을 만드는 용액을 이용하게 되면 마치 도장과 잉크와의 관계처럼 몰드에 각인된 패턴을 이용하여 다른 금속 표면에 원하는 SAM패턴을 얻을 수 있게 된다.
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참고 자료

없음