실험 목적
박막의 두께는 막의 특성을 결정하는데 가장 중요한 인자 중의 하나이다. 실험을 통하여 박막 두께 특성 평가에 대한 홀 측정, 면 저항 측정, 박막 두께 측정 방법 및 이론, 장∙단점 등에 대해 배운다.
실험 이론
1. hall effect
1) 이론
홀 효과 ( Hall Effect )
자기장내에서 움직이는 전하는 힘(자기력)을 받는다. 힘을 받은 전하는 힘의 방향으로 움직이나 박막, 도선 등 제한된 크기의 물체 내에 있는 전하의 경우에는 전하가 물체의 바깥으로 쉽게 나갈 수가 없으므로, 이들 전하는 물체의 양벽에 쌓이게 된다. 이때 쌓이는 전하는 금속물질의 경우에는 전자뿐이나, 반도체물질의 경우에는 타입에 따라서 전자와 구멍(hole)[주: 전자가 있을 자리에 빠져 있는 것을 마치 +e 의 양전하를 갖는 입자로 생각한다.]일 수 있다. 전류와 자기마당에 수직한 벽면의 전위차를 측정해보면, 그 극성으로부터 전하의 부호(그림 b 에서는 + 전하 즉, 구멍들이 전하수송체임)를 알 수 있다.
<중 략>
3) 고찰
hall effect의 원리를 배우게 되었고, 농도와 모빌리티를 계산 하게 되었습니다. 따라서 Rh값이 음의 값을 가지기 때문에 n형이라는 것을 알 수 있었습니다. 또한
농도는 -3.5642 /㎤이었고 이동도는 -809.845 ㎠/V s라는 결과 값을 얻을 수 있었습니다. 과제로 농도와 이동도가 가려져 있었기 때문에 정확한 결과 값을 확인 할 수 없어 정확한지를 현재 알 수 없습니다. 따라서 결과 값이 나오면 비교를 해봐야 합니다.
실험 시 샘플에 4개의 연결고리가 정확히 연결되었는지 확인을 해야 하며, 측정중간에 자성체를 넣은 후 전류 값이 바뀐 것을 확인하여야 정확한 농도 값과 이동도를 알 수 있습니다.
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