Ellipsometry

소개글

Ellipsometry 기초적인 원리에 대한 발표자료입니다.

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본문내용

Ellipsometry의 특징

1. 측정환경에 있어서의 융통성
시편이 대기중이 아니라 진공, 플라즈마, 산이나 염기 등의 용액 속에 놓여 있더라도 일단 빛이 투과할 수 있으면 측정이 가능.
또한 고온이나 극저온에서의 측정도 가능

2. 측정방법의 우수성
측정을 위해 시편을 자르거나 시편을 제작한 진공용기(chamber) 등에서 꺼내어야 하는 ex situ 측정도 하지만 시편을 있는 그대로 측정하는 in situ 측정아 가능 또한 빠른 detection system을 이용한 실시간 측정도 가능

3. 초박막 민감도(monolayer sensitivity)
위상변화는 표면변화에 극히 민감하여 monolayer(2-3Å)가 채 형성되기도 전에 그 변화를 감지
이것은 ellipsometry 의 장점이면서도 단점이다. 즉, 측정하고자 하는 물리량에 민감한 만큼 장비의 결함이나 운용미숙으로 인한 오차에도 민감

참고 자료

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