TFT Array 제조공정 (LCD)

소개

THF-LCD 제조과정 중 TFT Array 제조공정을 조사

목차

1. TFT 제조
1.1 1.1 증착/패턴 공정 상세도 (Deposition & Patterning Process in Detail)
1.2 증착/패턴 공정 상세 설명
① 증착공정
② 세정공정
③ PR도포공정
④ 경화공정
⑤ 노광공정
⑥ 현상공정
⑦ 식각공정
⑧ PR박리공정
⑨ 검사공정
2. 컬러 필터 공정
2.1 블랙 매트릭스(BM) 단위 증착/패턴 공정 상세도
(Deposition & Patterning Process in Detail in Black Matrix process)
3. 액정 공정
4. 모듈 공정
5. 결론 및 느낀점
※ 참고문헌

본문내용

-그림 첨부를 통한 상세설명 포함 -

1.2 증착/패턴 공정 상세 설명

① 증착공정
박막을 형성하는 증착 공정에서는 Sputter 장비와 PE-CVD 장비가 사용된다.
Sputter장비를 생산하는 업체로는 국내업체인 (주)아바코가 있으며, ULVAC(일본), Applied Materials(미국) 등의 업체가 있다. 아바코는 2000년에 설립되어 경기도 파주와 대구에 공장을 가지고 있으며, Sputter 장비 이외에 TFT-LCD 액정 주입기, 플라즈마 클리닝 시스템 등을 생산하고 있다. 미국 기업인 Applied Materials는 1967년에 설립하였으며, 2006년에 Applied Film사를 인수하였고, AKT라는 걸출한 자회사를 보유하고 있는 회사이기도 하다.

PE-CVD장비의 경우, 국내에서는 주성엔지니어링(주), (주)아토 등이 제조를 하고 있으며, 해외업체로는 ULVAC(일), AKT(일) 등이 있다. 주성엔지니어링은 1995년 설립되어 경기도 광주시에 본사를 가지고 있으며, 대만, 중국, 일본, 독일 등지에 해외 지사를 보유하고 있다. 아토는 경기도 시흥에 본사 및 공장을 가지고 있으며, 반도체 제조 장비(PE-CVD, GAS Supply System 등)를 주로 생산하고 있다.
ULVAC과 AKT는 Sputter장비와 PE-CVD장비를 모두 생산하고 있으며, 그 중에서도 ULVAC은 Sputter장비를 메인으로, AKT는 PE-CVD장비를 메인으로 생산하고 있다.

참고자료

· 1. TFT - LCD/ Toshihisa Tsuka지음, 이충훈 옮김 - 북스힐
· 2. http://tong.nate.com/mpj4978/22559204