ECR-이온 밀링을 이용한 의료용 네블라이저 백금(Pt) 메쉬 제작 특성 (Fabrication Property of Medical Nebulizer Pt Mesh by Using Electron Cyclotron Resonance Ar-ion Milling)

서지정보

· 발행기관 : 한국물리학회
· 수록지 정보 : 새물리 / 65권 / 11호 / 1074 ~ 1080페이지
· 저자명 : 안명천, 박철우, purevdorj khajidmaa, 벌러르마, 이원형, 홍기민, 이상석

초록

직경 3.5 μm 홀 (hole)이 패터닝된 두께 30 μm인 Pt 호일에 ECR Ar 이온 밀링법을 이용하여 호흡기 질환 질병치료용 네블라이저 메쉬를 제작하였다. 기존 네블라이저 제품의 Pt메쉬 표면형상구조를 SEM을 통해 분석하였다. 광 리소그래피 공정으로 패터닝된Cu 호일에 화학적 Wet 에칭 방법으로 홀을 형성한 후 전기도금법으로 Pt 박막을 입혀서 메쉬를 제작하여 물리적 Dry에칭 방법으로 제작한 것과 비교하였다. 광 리소그래피 공정으로 홀의 직경과 피치를 각각 3.5 μm, 110 μm로 하여 패터닝된 Pt 호일을 전자사이클로트론 공명 Ar-ion 밀링을 약 10시간 동안 에칭하였다. 제작된 Pt 메쉬는 깨끗한 표면형상을 유지하면서 균일한 홀 직경인 3.5 μm 크기가 광학현미경으로 관찰되었다.

영어초록

A Pt mesh with a foil thickness of 30 μm and a hole diameter of 3.5 μm for a medical respiratory nebulizer was fabricated by using the electron cyclotron resonance (ECR) Ar-ion milling method.
The surface morphology of the commercial Pt mesh was investigated by using scanning electron microscopy. Holes in the Cu foil were first formed by using the chemical wet etching method, and Pt was then electroplated on to the surface. The result for the commercial mesh was compared with the result for the mesh fabricated by using a physical dry etching method making use of ECR Ar-ion milling. With photolithography and 10 h of ECR Ar-ion milling, holes of 3.5 μm in diameter and 110 μm in pitch were obtained. Uniform holes with clear surface morphologies could easily be observed on the Pt mesh by using an optical microscope.

참고자료

· 없음