LTCC 내장 캐패시터용 BaTiO₃계 세라믹스의 저온소결 및 유전특성

서지정보

· 발행기관 : 한국세라믹학회
· 수록지 정보 : 한국세라믹학회지 / 42권 / 2호 / 8 ~ 14페이지
· 저자명 : 박정현, 남산, 박재관, 박재환, 최영진, 고원준

초록

BaTiO3계 유전체 모재료에 대하여 Al2O3와 CaO 조성이 소량 포함된 lithium-borosilicate계 유리 프릿을 5~15 wt% 적용함으로써 LTCC용 내장 캐패시터로 적용 가능한 조성을 개발하였다. 이를 위하여 먼저, 화학적으로 안정하고 저온소성효과가 탁월한 유리 프릿 조성물을 설계하고 이를 유전체 모재료에 적용하여 저온소성특성 및 유전특성을 평가하였다. BaTiO3 세라믹스를 모재료로 하는 경우 유리 프릿을 5 wt% 첨가하였을 때 925oC에서 95% 정도의 상대밀도 값을 나타내었으며, 이 경우 유전율 990, 유전손실 3.1%의 유전특성을 나타내었다. (Ba,Ca)(Ti,Zr)O3 세라믹스를 모재료로 하여 유리 프릿을 10 wt% 첨가한 경우는 875oC의 소결온도에서 상대밀도가 95% 이상이며 기공율 0.5% 이하인 소결특성을 나타내었고, 700 이상의 유전율 및 2% 내외의 유전손실 값을 가지는 것으로 측정되었다.

참고자료

· 없음