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Co계 아몰퍼스리본을 이용한 자계센서
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209 페이지
기타파일
최초등록일 2025.03.18
최종저작일
2003.07
209P 미리보기
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서지정보
· 발행기관 : 한국센서학회
· 수록지 정보 : 센서학회지 / 12권 / 6호 / 2 ~ 210페이지
· 저자명 : 신광호, 박경일, 송재연, 김영학, 사공건
초록
고감도의 자기임피던스센서를 구현하기 위해서 아몰퍼스리본을 리소그래피와 습식에칭을 통하여 미안더패턴으로 미소가공하고 임피던스의 외부자계의존성을 조사하였다. 센서의 임피던스는 외부자계 약 13 Oe 부근에서 가장 큰 값을 나타내었고, 약 170 %의 변화율을 나타내었다. 선형성과 감도가 확보될 수 있는 외부자계영역(6 Oe부근)에서의 임피던스의 변화를 평가해 보면 약 36 %의 단위자계당 임피던스 변화율을 확보할 수 있음을 알 수 있다. 제작한 센서패턴과 센서를 구동하기 위해서 제작된 구동회로를 이용하여, 약 10-3 Oe의 미약자계를 측정할 수 있다는 것을 알 수 있었다.참고자료
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