기타파일 
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서지정보
· 발행기관 : 한국센서학회
· 수록지 정보 : 센서학회지 / 11권 / 4호
· 저자명 : 성세경, 이두현, 최혁환, 이명교, 권태하
초록
초전형 적외선 센서를 제작하기 위하여 rf 마그네트론 스퍼터링법으로 (Pb,La)TiO3(PLT)/LiTaO3(LTO)/PLT 강유전 박막을 증착한 후 급속 열처리하여 열처리 온도와 시간에 따른 결정성을 조사하였다. 강유전 박막의 c축 배향도에 따른 비유전율 및 유전손실을 측정하고 c축 배향도가 가장 큰 강유전 박막으로 제작된 센서에 대해 초전계수를 측정하여 센서의 전압응답에 대한 성능지수(F_V참고자료
· 없음 -
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