산화된 다공질 실리콘 기판 위에 제작된 에어브리지를 가진 CPW Phase Shifter와 Shunt Stub

서지정보

· 발행기관 : 대한전자공학회
· 수록지 정보 : 전자공학회논문지 - SD / 39권 / 9호 / 11 ~ 18페이지
· 저자명 : 심준환, 강인호, 이종현, 예병덕, 박동국, 전중성, 權載祐, 朴正用

초록

본 논문에서는 표면 마이크로머시닝을 사용하여 10 ㎛ 두께의 다공질 실리콘 산화막으로 제조된 기판 위에 에어브리지를 가진 CPW phase shifter와 shunt stub을 제작하였다. CPW phase shifter의 크기는 S-W-Sg = 100-30-400 ㎛.로 설계되었다. "ㄷ" 모양을 가진 에어브리지의 폭은 100 ㎛, 길이는 400-460-400 ㎛ 이다. 낮은 손실을 얻기 위하여, step 된 에어브리지를 가진 CPW phase shifter가 제안되었다. Step된 에어브리지를 가진 구조가 step이 없는 에어브리지를 가진 구조보다 삽입손실이 보다 더 향상되었다. 제작된 CPW phase shifter의 위상특성은 28 ㎓의 넓은 주파수 범위에서 180°의 천이를 나타내었다. 그리고 short-end series stub의 동작주파수는 28.7 ㎓이며, 반사손실은 - 20 ㏈를 나타내었다. 또한 short-end shunt stub의 동작주파수는 28.9 ㎓이며, 반사손실은 - 23 ㏈를 나타내었다. 이상의 결과에서 중앙 전송선에 설계된 stub은 크기 감소로 고 밀도 칩 레이아웃을 이끌 수 있는 장점을 가진다.

영어초록

This paper presents a CPW phase shifter and shunt stub with air-bridge on a 10-㎛-thick oxidized porous silicon(OPS) substrate using surface micromachining. The line dimensions of the CPW phase shifter was designed with S-W-Sg = 100-30-400 ㎛. And the width and length of the air-bridge with "ㄷ" shape were 100 ㎛ and 400-460-400 ㎛, respectively. In order to achieve low attenuation, stepped air-bridge CPW phase shift was proposed. The insertion loss of the stepped air-bridge CPW phase shift is more improved than that of no stepped air-bridge CPW phase shift. The measured phase characteristic of the fabricated CPW phase shifter is close to 180°over a very broad frequency range of 28 ㎓. The measured working frequency of short-end series stub is 28.7 ㎓ and the return loss is - 20 ㏈. And the measured working frequency of short-end shunt stub is 28.9 ㎓ and the return loss is - 23 ㏈ at midband. As a result, the patterning of stub in the center conductor of CPW lines can offer size reduction and lead to high density chip layouts.

참고자료

· 없음