기계공학응용실험 MEMS 예비보고서

소개글

기계공학응용실험 예비보고서

목차

1. 마이크로머시닝의 필요성 및 응용에 관하여 기술하시오.
2. 마이크로머시닝을 통한 미소기계소자의 제작방법에 관하여 기술하시오.
3. 센서와 구동기의 종류와 응용에 관하여 기술하시오.

본문내용

1. 마이크로머시닝의 필요성 및 응용에 관하여 기술하시오.

1) 필요성
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)는 입체적인 미세구조와 회로, 센서와 액추에이터(actuator)를 실리콘 기판 위에 집적화 시킨 것으로 소형이면서도 복잡하여 고도의 동작을 하는 시스템으로 마이크로시스템(Microsystem)이나 마이크로머신(Micromachine) 등으로 불리기도 한다. MEMS는 반도체 집접회로의 구조 기술을 기본으로 하고, 전자, 기계, 광, 재료 등 다양한 기술을 융합한 미세가공(micromachining) 기술로 제작되어, 소형화는 물론 집적화, 저전력 및 저가격 등 대부분의 전자, 기계 및 부품들이 궁극적으로 추구하는 목표를 모두 만족시킬 수 있다는 장점을 가지고 있다.
이제 21세기를 주도할 핵심기술 중 하나로 인식되고 있는 MEMS 기술은 우리가 흔히 접할 수 있는 정보기기 관련 시스템의 센서나 프린터 헤드와 같은 중요한 부분에 이용되고 있으며, 생명공학, 미세 유체 및 화학분석, 운송 및 항공, 광학, 그리고 로봇 등과 같은 산업 분야에서 구조, 부품 및 시스템 제조를 위한 핵심 기술로 활용되고 있다.

현재 연구 중인 응용분야로는 정보화기기분야(자기 헤드, 프린터 헤드 등), 의료기기분야(세포조작, 진단 및 수술 등), 제어계측 기기분야(센서, 자유제어 시스템 등), 광학기기분야(광섬유통신, 광스위치, 마이크로렌즈 등), 극소형기계분야(필터, 노즐, 밸브 등) 등이 있고 대부분과 이에 적용되는 구조, 부품, 시스템을 핵심 기술로 인정받고 있다.
※ MEMS기술의 응용(예)

참고 자료

없음